Quận Bắc Từ Liêm được thành lập theo Nghị quyết số 132/NQ-CP[1] ngày 27 tháng 12 năm 2013 của Chính phủ, trên cơ sở điều chỉnh toàn bộ diện tích tự nhiên và dân số của 9 xã: Thượng Cát, Liên Mạc, Tây Tựu, Thụy Phương, Minh Khai, Phú Diễn, Đông Ngạc, Xuân Đỉnh, Cổ Nhuế; 9,30 ha diện tích tự nhiên và 596 nhân khẩu của xã Xuân Phương; 75,48 ha diện tích tự nhiên và 10.126 nhân khẩu của thị trấn Cầu Diễn thuộc huyện Từ Liêm cũ. Đồng thời, thành lập 13 phường thuộc quận Bắc Từ Liêm như sau:

- Thành lập phường Thượng Cát trên cơ sở toàn bộ 388,90 ha diện tích tự nhiên và 10.000 nhân khẩu của xã Thượng Cát.

- Thành lập phường Liên Mạc trên cơ sở toàn bộ 598,70 ha diện tích tự nhiên và 12.966 nhân khẩu của xã Liên Mạc.

- Thành lập phường Thụy Phương trên cơ sở toàn bộ 287,59 ha diện tích tự nhiên và 13.753 nhân khẩu của xã Thụy Phương.

- Thành lập phường Minh Khai trên cơ sở toàn bộ 485,91 ha diện tích tự nhiên và 36.709 nhân khẩu của xã Minh Khai.

- Thành lập phường Tây Tựu trên cơ sở toàn bộ 530,18 ha diện tích tự nhiên và 26.970 nhân khẩu của xã Tây Tựu; 9,30 ha diện tích tự nhiên và 596 nhân khẩu của xã Xuân Phương. Phường Tây Tựu có 539,48 ha diện tích tự nhiên và 27.566 nhân khẩu.

- Thành lập phường Đông Ngạc trên cơ sở 241 ha diện tích tự nhiên và 23.922 nhân khẩu của xã Đông Ngạc.

- Thành lập phường Đức Thắng trên cơ sở 120 ha diện tích tự nhiên và 19.923 nhân khẩu còn lại của xã Đông Ngạc.

- Thành lập phường Xuân Đỉnh trên cơ sở 352,20 ha diện tích tự nhiên và 33.659 nhân khẩu của xã Xuân Đỉnh.

- Thành lập phường Xuân Tảo trên cơ sở 226,30 ha diện tích tự nhiên và 12.622 nhân khẩu còn lại của xã Xuân Đỉnh.

- Thành lập phường Cổ Nhuế 1 trên cơ sở 217,70 ha và 33.346 nhân khẩu của xã Cổ Nhuế; 3,30 ha diện tích tự nhiên và 372 nhân khẩu của thị trấn Cầu Diễn. Phường Cổ Nhuế 1 có 221 ha diện tích tự nhiên và 33.718 nhân khẩu.

- Thành lập phường Cổ Nhuế 2 trên cơ sở 403,43 ha và 44.488 nhân khẩu còn lại của xã Cổ Nhuế; 1,60 ha diện tích tự nhiên và 292 nhân khẩu của thị trấn Cầu Diễn. Phường Cổ Nhuế 2 có 405,03 ha diện tích tự nhiên và 44.780 nhân khẩu.

- Thành lập phường Phúc Diễn trên cơ sở 209,03 ha và 21.820 nhân khẩu của xã Phú Diễn; 8 ha và 1.914 nhân khẩu của thị trấn Cầu Diễn (phía Nam quốc lộ 32 và phía Tây Sông Nhuệ). Phường Phúc Diễn có 217,03 ha diện tích tự nhiên và 23.734 nhân khẩu.

- Thành lập phường Phú Diễn trên cơ sở 189,62 ha và 19.514 nhân khẩu còn lại của xã Phú Diễn; 62,58 ha và 7.548 nhân khẩu của thị trấn Cầu Diễn (phía Bắc quốc lộ 32). Phường Phú Diễn có 252,20 ha diện tích tự nhiên và 27.062 nhân khẩu.